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电子 (Electron)，是早发现的基本粒子，带负电，电量为1.602176634×10-19库仑，是电量的小单元，质量为9.10956×10-31kg，常用符号e表示。1897年由英国物理学家约瑟夫·约翰·汤姆生在研究阴极射线时发现。一切原子都由一个带正电的原子核和围绕它运动的若干电子组成。

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对电子的运动做了适当的数学处理，提出了二阶偏微分的的薛定谔方程式。这个方程式的解，如果用三维坐标以图形表示的话，就是电子云。在不同的时代，人们对电子在原子中的存在方式有过各种不同的推测。早的原子模型是汤姆孙的梅子布丁模型。

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电子束平版印刷术是一种分辨率小于一毫米的蚀刻半导体的方法。这种技术的缺点是成本高昂、程序缓慢、必须操作于真空内、还有，电子束在固体内很快就会散开，很难维持聚焦。后这缺点限制住分辨率不能小于10nm。因此，电子束平版印刷术主要是用来制备少数量特别的集成电路。